潔凈實驗室潔凈工程所指一定區(qū)域范圍內，將空氣中塵粒、有危害氣體、病菌等污染物質清除，并把室溫、潔凈度等級、工作壓力、氣旋速度氣流分布、噪聲震動及燈光、靜電感應操縱在某一要求范圍之內工程學科。凈化車間工程所尤其設計方案房間，無論外在美氣體標準怎么變，房間內均具備保持原來所設置規(guī)定之潔凈度等級、溫度濕度及工作壓力等特性。

潔凈實驗室里的溫濕度控制：

潔凈實驗室的溫度濕度通常是依據工藝標準來決定，但達到工藝標準條件下，應注意到人舒適感感。伴隨著空氣潔凈度規(guī)定的提升，出現加工工藝對溫度濕度的需求也越來越嚴格的態(tài)勢。

實際加工工藝對環(huán)境溫度的需求之后還要例舉，但是作為總的基本原則看，考慮到尺寸精度愈來愈細致，因此對溫度變化范疇的需求愈來愈小。比如在規(guī)模性集成電路芯片制造的光刻技術曝出加工工藝中，做為掩膜板原材料玻璃與硅片的線膨脹系數的差規(guī)定愈來愈小。孔徑100um的單晶硅片，溫度升高1度，就導致了0.24um線性澎漲，因此需有±0.1多度控溫，并要求環(huán)境濕度值一般比較低，由于人出汗之后，對產品質量即將迎來環(huán)境污染，尤其是怕鈉的半導體材料生產車間，這類生產車間不適合超出25度。

濕度太高所產生的難題大量?？諝鉂穸瘸?5％時，冷卻管內壁會冷凝水，如果出現在高精密設備或電路板上，就會引發(fā)各種各樣安全事故?？諝鉂穸仍?0％易銹蝕。除此之外，濕度過高時把根據空氣中水分把單晶硅片表層黏著的塵土化學吸附在表面上耐無法消除?？諝鉂穸仍酱?黏附的難除掉，但是當空氣濕度少于30％時，又因靜電感應力作用使顆粒也很容易吸咐于表層，與此同時很多半導體元器件很容易發(fā)生穿透。